高纯度钛制成的溅射镀膜核心材料，都有哪些具体用途？

一、高端电子制造‌1. 半导体芯片‌导电层与阻挡层‌：用于沉积钛硅化合物、钛氮化合物等薄膜，防止金属原子扩散污染硅基板，保障0.18μm以下制程芯片的良率与性能。超高纯度要求‌：16兆位超大规模集成电路需纯度≥...